相对于集成电路制造业，我国的集成电路装备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等方面都还存在着很大的差距，尚未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模。
     这一状况导致我国目前所有已建、在建和筹建的8英寸集成电路制造厂的生产装备完全依赖进口。面对强劲的市场和产业发展需求，建立健康的集成电路装备制造业，开发关键制造装备和具有自主知识产权的先进工艺，形成具有自主发展能力和核心竞争力的产业链，实现可持续健康发展，已成为我国集成电路制造业亟待解决的一项具有全局性和战略性意义的核心问题。

　　中低档市场拥有一定用户群

　　当前我国涉足集成电路装备研究和生产单位约40个，其中主要单位20家左右，主要提供4英寸、5英寸、6英寸集成电路装备，在中低档市场上拥有一定的用户群，但在8英寸以上主流装备市场上尚无一席之地。大部分单位从事前工序装备研制，如半导体前道工序用扩散炉、快速热处理装备、清洗机、匀胶显影装备等；后道工序装备、材料制备装备、净化装备、检测装备和试验装备也各有一些单位在研究和生产。后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备装备中的单晶炉、研磨机、抛光机。部分净化装备和试验装备中，国产装备已经日渐成熟。部分材料制备装备、后道工序装备以及6英寸前道工序中的扩散装备、快速热处理装备、清洗装备等已逐步进入集成电路生产领域。

　　相对国际集成电路装备产业链的优势，我国集成电路装备产业链还很薄弱，虽然经过“十五”集成电路制造装备重大专项的实施，已经初建起零部件的供应体系，但与国外的配套环境相比，我们还存在上游基础材料和关键零部件支持和供应体系的缺乏的瓶颈问题，这与我国现有工业基础相对落后，国内产品在性能、质量、品种方面仍有较大差距有关。

　　发挥成本优势 走自主创新之路

　　中国集成电路装备制造业要形成一定的、可以支撑自身实现可持续发展的产业规模，需要充分发挥中国的制造成本优势，走自主创新之路。要做好以下几个方面：

　　第一，根据产业化目标选择“十一五”突破重点。通过“十五”发展，我国在一些关键装备上已经具备了良好的基础，本着“集中攻关、重点突破”的原则，应制定相应的配套科技攻关和产业开发计划，在“十一五”期间加强支持力度，从而保证一些重点产品实现产业化，并力争某些关键装备产品在技术上赶上世界集成电路技术更新换代的节奏。应该坚持以企业为主体，以产业化为目标，让芯片生产商的要求和工艺设想进入集成电路装备的整体和顶层设计，使生产工艺在集成电路装备中得以物化，提高集成电路装备的性价比、可靠性、实用性和一致性，拓宽维修、备件供应等售后服务的范围，以推动其商品化进程。

　　第二，机制创新，推动本土企业机制改造。要实现产业化目标，企业管理与市场运作模式比技术本身更具有决定性意义。集成电路装备产业本身是一个国际性竞争行业，要在中国市场立足，同样要面对国际竞争。而目前国内企业的综合实力和运营模式离参与国际竞争的要求还有差距，产品化和市场意识还很弱。从研制出样机到把产品卖进主流生产线还有相当大距离。为此，首先要采取措施促使和推动业主企业调整运营管理与市场运作模式，制定更加清晰的产品战略和体系，以适应行业竞争的要求。

　　第三，加强海外人才引进，有效利用先进技术资源。面对我国集成电路制造装备技术与国际上的巨大差距，以目前的经验看，通过国际化合作，积极引进人才，结合本土制造领域的基础优势，形成一种“海外人才+国企改造+一流平台+产业运作”的模式，是一个迅速提升国内企业水平、层次和实力，实现机制体制转变的一条有效的快捷途径。因此，应设法促使国内企业采取有力度、有效果的措施实施自我改造，从海外引进产业人才和专业人才加入核心团队，并建立充分利用海外技术资源的模式。